Technical Field [0001] 本発明は、放電電極とワー

Technical Field
[0001] 本発明は、放電電極とワーク（除電対象物）との間の距離に応じてイオン噴射用のエアの流量を制御するようにしたイオナイザに関するものである。
Background Art
[0002] 液晶等の製造工程において、コロナ放電により発生させたイオンをエアによりワークの表面に噴射させてワークを除電するようにしたイオナイザは、例えば特許文献１に記載されている。
図２は、この従来技術を示す概略的な構成図であり、図において、１０１はクリーンルームの天井に設置されたフィルタ、２００はイオナイザ本体、２０１は高電圧発生回路、２０２は高電圧発生回路２０１にそれぞれ接続された針状の放電電極（エミッタ）、２０３はエアノズル、２０４は清浄なエアが供給されるバルブ、Ｗは液晶基板等のワーク、Ｌは放電電極２０２からワークＷまでの距離を示す。
[0003] 上記従来技術では、高電圧発生回路２０１から放電電極２０２に高電圧を印加して放電電極２０２の周囲の空気をイオン化し、これらのイオンをエアに乗せてエアノズル２０３からワークＷに噴射させることにより、ワークＷ表面の帯電電荷を中和して除電を行っている。
[0004] patcit 1 : 特開２００６−２３６７６３公報（段落［０００７］〜［０００９］、図８等）

Disclosure of Invention
Technical Problem
[0005] ここで、図３に示すように、例えばストッカーＳに収容された複数枚のワークＷを上から順に除電して１枚ずつ排出するようなシステムを考えてみる。
従来では、放電電極２０２からワークＷ’の表面までの距離Ｌを一定値（例えば最上部のワークＷ’がストッカーＳ内の１／２の高さにある場合の距離）に設定し、その位置にあるワークＷ’に対して所望の除電効果が得られるようにエアの流量を決定している。
[0006] しかし、上記の距離Ｌは、ストッカーＳ内に残っているワークＷの枚数によって変化するものであり、距離ＬはワークＷの枚数が少ないほど長くなり、ワークＷの枚数が多いほど短くなる。
このため、ワークＷの枚数が少ない場合には、ワークＷの表面に到達する単位時間当たりのイオン量が少なくなるので除電時間が長くなり、ワークＷの枚数が多い場合には、逆に除電時間は短くなるがエアに無駄が多くなるという問題があった。
上記の問題は、放電電極２０２からワークＷまでの距離Ｌが逐次変化する図３のようなシステム以外に、単一のイオナイザにより厚さが異なる種々のワークを除電するような場合にも生じるものである。
[0007] そこで、本発明の解決課題は、放電電極とワークとの間の距離に応じてエアの流量を最適値に制御することにより、エアの浪費を防止して省エネルギー化や運転コストの低減を可能にしたイオナイザを提供することにある。

Результаты (русский) 1:

Технические области [0001] это изобретение является для контроля потока воздуха для инъекций ионов в зависимости от расстояния между электродом и заготовки (за исключением субъект) ионизатор на.Фон искусство Ионизатор ионы, вызванные коронного разряда в процессе производства LCD [0002] впрыской воздуха на поверхности заготовки для ликвидации работы например описан в патентной литературы 1.Рисунок 2 показывает этот традиционной технологии широкую картину рисунок, 101 фильтр, установленный на потолке чистой комнате, 200 ионизатор основного блока, 201 генератор высокого напряжения цепи, 202 игольчатый электрод (эмиттер) прилагается к каждой цепи высокого напряжения поколения 201, 203 204, чистый, сухой воздух питания клапан, W LCD плат, работы, расстоянии L от разряда электрода 202 мастерской W.[0003] выше обычных технологий, от высокого напряжения разряда цепи 201 электрода 202 высоковольтных поколения применяется к ионизирующего воздуха вокруг разряда электрода 202 положить этих ионов в воздухе, опрыскивание от воздушного сопла 203 работать W W поверхностного электростатического заряда для нейтрализации ликвидации.[0004] patcit 1: Откройте 2006-236763 Вестник (пункт [0007]-0009, рис. 8).Раскрытие изобретения Техническая проблема Как показано на рисунке 3 [0005] здесь, для примера, рассмотрим работу w копий были размещены в Стокер w / S от статического электричества в порядке, например, в то время слива системы.В традиционных разряда электрода W 202-работа ' расстояния L до поверхности с постоянным значением (например, при работе W в верхней части ' в Стокер w / S 1/2 расстояния) для работы W в этой позиции и набор ' для ОУР желаемого эффекта получается определить скорость потока воздуха.[0006] расстояние L выше, меняется на количество оставшихся в Стокер w / S заготовки W, меньше работы W количество больше расстояние l, но больше работы W листы короче.По этой причине удаления обратного времени короче, потому что это уменьшает количество ионов в единицу времени в нескольких копий работы W если вы достигнете к поверхности заготовки W больше времени удаления, есть большее количество работы W, воздуха отходов часто является проблемой.Как ионизатор non системы как на рисунке 3 итеративные изменения работать расстояние L W из разряда электрода 202 для сингла зависит от толщины заготовки антистатические как выше проблема также возникает.[0007], изобретение решить проблемы является предоставление ионизатор стало возможным уменьшить энергии и эксплуатационных расходов, предотвращения отходов воздуха, контролируя оптимального воздушного потока в зависимости от расстояния между электродами и заготовки.

Результаты (русский) 2:

Область техники
[0001] Настоящее изобретение относится к ионизатора, который таким образом, чтобы контролировать скорость потока воздуха для инъекций ионов в соответствии с расстоянием между разрядным электродом и заготовкой (продукт нейтрализации проценты).
Предшествующий уровень техники
В [0002] процессе производства жидкого кристалла и т.п., ионы, генерируемые с помощью коронного разряда впрыскивается на поверхность заготовки с помощью ионизатора воздуха, который должен быть нейтрализации заготовку, например, описанным в патенте США.
2, в предшествующем уровне техники является схематической диаграммой, иллюстрирующей технику, позицией 101 представляет собой фильтр, который установлен на потолке чистой комнате, 200 ионизатор тела 201 является схемой генерации высокого напряжения, 202 является высоковольтный схема генерирования 201 игольчатые разр дные электроды соединены соответственно с (эмиттера), 203 воздушного сопла, 204 представляет собой клапан, который подается чистый воздух, W такой как жидкий заготовки кристаллическая подложка, L указывает расстояние от разрядного электрода 202 к заготовке W ,
[0003] Выше в данной области техники, приложения высокого напряжения к разрядному электроду 202 из высоковольтной схемы генерирования 201 окружающего воздуха от коронирующего электрода 202 ионизируется, введение этих ионов из сопла воздуха 203 находится на воздухе в рабочей W По, и он выполняет устранение заряда путем нейтрализации заряда поверхности заготовки W.
[0004] patcit 1: JP 2006-236763 публикации (. Пункты [0007] - [0009], 8, и т.д. рис) Раскрытие изобретения Техническая проблема [0,005] Здесь, как показано на рисунке 3, например, размещены в Стокер S считаю такой системы выполнять по одному нейтрализацией в порядке от множества выше заготовка W было. В обычных наборов коронирующих электродов 202 в 'постоянном значении расстояние L от поверхности (например, в верхней части заготовки W' работа W расстоянии, когда есть 1/2 от высоты Стокер S), его положение и определяет скорость потока воздуха с тем, чтобы получить желаемый эффект нейтрализации на заготовке W 'в. [0006] Однако расстояние указанного L предназначена для изменения с числом заготовок Вт оставаясь в Stocker S, расстояние L становится больше, как количество заготовки W является низкой, и короче, как количество заготовки W является большим стать. Таким образом, когда число заготовки W мала, потому что количество ионов в единицу времени, чтобы достичь поверхности заготовки W уменьшается тем дольше время разряда, когда число заготовки W является большой, статическое время устранение обратной существует проблема, что это сделано короче, расточительно в воздухе. Указанная проблема, выгружают из электрода 202 в дополнение к системе, показанной на рисунке 3, в которой расстояние L на заготовке W изменяется последовательно, одну толщину, но также может возникать в таких случаях, как нейтрализовать различные заготовок по ионизатора Это. [0007] Соответственно, решение проблем настоящего изобретения, расстояние уменьшается, контролируя оптимальное значение скорости потока воздуха, энергосбережение и эксплуатационных затрат за счет предотвращения потери воздуха в ответ на между разрядным электродом и заготовкой Настоящее изобретение заключается в создании ионизатора, который позволяет.

Результаты (русский) 3:

в технической области
[0001] изобретение, разряда электрода и (за исключением электро - объект), расстояние между впрыска в соответствии с ионов для контроля воздушного потока ионов генератор ".
Background арт
[0002] НРС и других производственных процессов в результате, коронный разряд ионов воздух более поверхности компонентов работы самолет, чтобы, за исключением электричества ионов генератор, например патентной литературы 1 отчеты.Диаграмма 2
, это традиционные технологии типа отображения примерно диаграмма структуры,диаграмма в 101 - это чистая комната, потолок был установлен фильтр ионов генератор образований, 200, 201 202 цепь высокого напряжения происходит, происходит их цепь высокого напряжения подключения 201 иглы электрод разгрузки (эмиттер), 203 - воздушный сопло, чистый воздух, 204 клапан питания, W - жидкокристаллические панели, таких, как рабочие, l разряда электрода 202 начал работу W расстояние до экрана.
[0003] выше аналитических технологий,цепь высокого напряжения происходит начал выполнять электрод 201 202 высокого напряжения 囲 разряда электрода 202 недели ионизация воздуха, эти ионов воздух на воздушный сопло впрыска 203 начал работу W может сделать поверхность, W заряженных нейтрализация заряда, кроме электричества.
[0004] patcit 1: открытие в 2006 - 236763 коммюнике (пункты [] [] 23 ноября ~ 0009, Диаграмма 8

Disclosure изобретение и т.д.) четко
[0005]
Technical Problem здесь, показано на рисунке 3,например 施特 Керр S размещаются комплекс Чжан работу W - сверху вниз, в свою очередь, за исключением выбросов 1 чжан электрической системы пытался рассмотреть.
ранее разряда электрода 202, начал работу W 'поверхности расстояние L определенного значения (например, сверху работу W' 施特 Керр S в 1 / 2 высоты случаях расстояние) установить, работы на этой позиции W 'требует помимо электрический эффект определяет добиться расхода воздуха.
[этики выше] но расстояние L,施特 Керр S внутренней работы количество изменений осталось W - W, расстояние L меньше работы количество переменной длины, количество работы W короче.
таким образом, работу W в условиях менее Чжан число W достичь поверхности, работы на единицу времени количество ионов меньше, так что помимо электрический долгое время, когда количество работы W много, но за исключением электро - время становятся короче газа тратить много проблем.
вышеуказанных проблем,до начала работы разряда электрода 202 W расстояние L постепенно Диаграмма 3 же, помимо изменения системы, единой ионов генератор более толстые различных различные виды деятельности, за исключением электричества также производить вещи, когда.
[23 ноября] таким образом, изобретение решить вопрос, расстояние между разряда электрода и работы в соответствии с оптимальной стоимости контроля воздушного потока воздуха путем предотвращения отходов, экономии энергии и сокращения расходов для вождения может предоставить есть ионный генератор.