Результаты (
русский) 2:
[копия]Скопировано!
Не ясно, являются ли более длительное время экспозиции, требуемые нового поколения EUV фотолитогрфическая шаговых машин сделало бы производство высокоскоростных операций невозможно. Даже малейшее вибрация может подорвать точность оптики, необходимых для травления линий молекулярной толщины, а также полупроводниковой промышленности были вынуждены строить специализированные стабилизированные здания, чтобы попытаться изолировать оборудование от вибрации.
переводится, пожалуйста, подождите..